Effektive Filterfläche: Fläche, die bei der Filtration benetzt wird und auf der die Partikel abgeschieden sind.
EDX-System: System mit dem energieaufgelöste Röntgenspektren (Energy Dispersive X-Ray) zur Elementanalyse aufgenommen werden können.
Einzelbeprobung: Aufeinanderfolgende Beprobung der im Prüflos enthaltenden Bauteile.
Ersatzobjekt: Rohr- bzw. Schlauchstück, das bei der Aufreinigung und Blindwertbestimmung des Spülstandes als Ersatz für das Bauteil eingebaut wird.
Extinktion (bei OPZ): Durch ein Partikel hervorgerufene Veränderung der Intensität eines Lichtstrahls bedingt durch Absorption und Streuung.
Extraktion: - auch Beprobung. Prozedur zur möglichst vollständigen Übertragung der Partikelfracht von der Kontrollfläche auf die Prüfflüssigkeit, zur messtechnischen Analyse.
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