Partikel: Partikel sind feste Körper aus Metall, Kunststoff, Mineralien, Gummi oder Salzen. Pastöse Anteile gelten nicht als Partikel.
Partikelfracht: An der Kontrollfläche eines Objekts befindliche Feststoffteilchen aus dem Fertigungsprozess und Umfeld; liegt das Objekt als Flüssigkeit vor, so handelt es sich um die darin befindlichen Partikel.
Partikelgröße (bei OPZ): der äquivalente Kreisdurchmesser, ermittelt mittels eines optischen Partikelzählers, der entsprechend den in diesem Dokument genannten Standards kalibriert wurde.
Partikelgrößenverteilung: Anzahl von Partikeln, dargestellt als Funktion der Partikelgröße.
Passive Komponente: Objekt, das zur Prüfung nicht angetrieben oder betätigt werden muss; z.B. Rohr, Gehäuse, Behälter.
Probengefäß: Behältnis, das Teilmengen oder die Gesamtheit der Analyseflüssigkeit enthält und zu Lagerung und Transport dient.
Probenzuführsystem (bei OPZ): Einrichtung zur strömenden Zuführung der zu analysierenden Flüssigkeit zum Partikelzähler.
Prüfeinrichtung: Anordnung und Zusammenwirken sämtlicher Gegenstände zur Sauberkeitsprüfung.
Prüfflüssigkeit: Mit Objekt und Prüfeinrichtung chemisch verträgliche Flüssigkeit, mit einer zur Abreinigung von Partikeln geeigneten Mindestsauberkeit und Reinigungswirkung.
Prüflos: Ein Prüflos umfasst mindestens ein Bauteil bzw. mindestens so viele Objekte wie erforderlich sind, um genügend Partikel zur Analyse zu erfassen.
Prüflosgröße: Anzahl der in einem Prüflos enthaltenen – gemeinsam zu analysierenden – Objekte.
Prüfspezifikation: Dokumentation, die auf Qualifizierungsuntersuchungen basierende Angaben zur (wiederkehrenden) Sauberkeitsprüfung eines Bauteils oder einer Gruppe von Bauteilen beinhaltet.
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