RE-Detektor: auch BSE-Detektor (Back Scattered Electron): Der Rückstreuelektronen-Detektor liefert REM-Bilder mit hohem Materialkontrast und kann zur automatisierten Detektion von Partikeln verwendet werden.
Reine Werkbank: Abgegrenzter Arbeitsbereich mit definierter Luftreinheitsklasse.
REM: Raster-Elektronen-Mikroskop: Hochauflösendes Mikroskop, bei dem die Abbildung durch Abrastern einer Probe mit einem fokussierten Elektronenstrahl im Vakuum erfolgt.
Routineprüfung: Wiederkehrende Sauberkeitsprüfung eines Bauteils basierend auf einer geeigneten Prüfspezifikation.
Rückstandsgewicht: Mittels gravimetrischer Analyse ermittelter Wert für die Partikelfracht (ehemals Restschmutzgewicht).
News
Interview mit Dipl.-Ing. Hans Illig über Technische Sauberkeit bei Mercedes-Benz, lesen Sie im Magazin 
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